Trio Design
Division
《前工程ウエットプロセス装置関係》

半洗浄やエッチング、剥離などの液処理装置や乾燥機の設計製造、液処理に関連した
薬液の供給回収システムや工場内敷設工事を、弊社のパートナーシップに則った
新しい取組の結果によって得られる改善で低価格でご提供します。
[About Logo]
色の三原色で全ての色が表現されるように無限の可能性を表現しています。
同じ目的に向かって一致団結して真剣に取り組み、
目標達成の喜びを分かちあう関係であると考えます。
トリオデザイン事業部は、お客様とのパートナーシップを日々心がけ活
動しております。
あらゆるウエット処理工程において活躍します。
マニュアルドラフト・自動ウエットステーション・前後二槽処理装置など
お客様のニーズに合わせてカスタマイズいたします。
●ドラフト/自動ウエットステーション
RCA洗浄・酸/アルカリエッチング・レジスト剥離、石英治具やチューブ洗浄機等々、
弊社こだわりの液系装置はコストも秀逸です。




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●前後二槽処理装置
機能を絞った簡易型(二槽型)処理装置です。
薬液とQDR槽間の自動搬送機が付いています。
薬液槽/水洗槽の二槽構造にて省スペース化を実現。
設置場所も多様に検討でき移設も容易です。
評価テスト・量産工程など多様にご使用いただけます。 
薬液供給装置各種を用意。
弊社現地工事とあわせて更なるコストダウンが可能です。




●加圧容器用 薬液供給装置 ●ポリ容器用ポンプ送液型 薬液供給装置
シングルカセット、バーチカル、対向式の最大300mmウエハー対応の
スピンドライヤーをご用意しております。



既存設備の性能を飛躍的に向上させる各種ユニットをご用意しています。


簡単な基本ユニット(タッチパネル/制御)を後付けすることで
既存設備の性能を向上させる様々なアイテムをご用意しています。



用力接続工事や移設工事など熟練した技術者が低予算で対応いたします。


既存設備の液漏れや外装の修理改善はもちろん、搬送系
の不具合やスピンドライヤーのオーバーホールも承ります。
遊休設備再生や部品の流用でコストを抑制して大きな成果を得る
お手伝いをいたします。
実験用の恒温システムや秤量薬液の管理や保管等の機器について
専用機を設計製作いたします。
カタログにない部品や図面のない加工品ドラフトやブースを
リーズナブルな価格で製作いたします。
- 作業員費用
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※設計電機含む全作業者に適用
社内一般……………………5,000円/1時間 40,000円/1日(8時間) 社外一般……………………6,000円/1時間 48,000円/1日(8時間) 休日・祝日・祭日…………… 7,500円/1時間 60,000円/1日(8時間)
- 出張費用
- 宿泊費用10,000円/泊
- 移動費用
- 4,000円/時間
- 交通費用
- 公共交通機関の費用は実費計上
- 燃料費用
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往復距離(km) 料 金 0 ~ 100 5,000円 100 ~ 200 6,000円 200 ~ 300 7,000円 300 ~ 400 8,000円 400 ~ 500 9,000円 500 ~ 600 10,000円 -
往復距離(km) 料 金 600 ~ 700 11,000円 700 ~ 800 12,000円 800 ~ 900 13,000円 900 ~ 1,000 14,000円 1,000 ~ 1,100 15,000円 1,100 ~ 1,200 16,000円 -
往復距離(km) 料 金 1,200 ~ 1,300 17,000円 1,300 ~ 1,400 18,000円 1,400 ~ 1,500 19,000円 1,500 ~ 1,600 20,000円
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- 高速料金
- 実費による
- 燃料費用
- 走行距離 ÷ 10 × (ガソリン/L実勢価格)








